Nanopatterning, Production and Applications based on Nanoimprinting Lithography

Projektnummer

NMP2-LA-2008-214249
European Large-Scale Framework 7-Projekt, gefördert von der Europäischen Kommission als Teil des NMP-Schwerpunkts

Projektlaufzeit

01. Mai 2008 – 30. April 2012

Projektziele

Das Projekt Nanopatterning, Production and Applications based on Nanoimprinting Lithography (NaPANIL) brachte 18 europäische Partner aus Industrie, akademischen Einrichtungen und privaten Instituten zusammen, um skalierbare Prozesse der Nanoimprint-Lithographie zur Erzeugung beliebiger dreidimensionaler Oberflächen mit Abmessungen deutlich unterhalb 100 nm zu entwickeln. Der Fokus des Projekts wurde durch das Anforderungsprofil von drei Endnutzern bestimmt, die industrielle Anwendungen mit nanostrukturierten Oberflächen von wenigen mm2 bis mehreren cm2 realisierten. Neben Anwendungen für mobile Geräte (Polymer Diffractive Optical Element PDOE), den Fahrzeugbereich (emissive Head Up Display eHUD) und der Gebäudetechnik (Light DIRectional Device (LDIR) wurden weitere Funktionsprinzipien zukunftsorientierter Anwendungen der übernächsten Generation erforscht.

Projektnutzen

Das NaPANIL Projekt zielte auf die Etablierung einer ganzheitlichen Wertschöpfungskette ab, die sich für die Herstellung optischer Elemente und "life-Science"-Anwendungen eignet, um zukünftig die vereinfachte Übernahme neuer Ideen und Anwendungen im Bereich der Nanotechnologie in ein industrielles Umfeld zu ermöglichen. Die Wertschöpfungskette wurde dabei durch die Arbeitsschwerpunkte Stempel, Prozesse und Anwendungen verdeutlicht. Dies wurde durch Entwicklungen geeigneter Messmethoden und Modellierungsverfahren ergänzt, um letztendlich hochinnovative Fertigungsmethoden zur Erzeugung von 3D Nanostrukturen auf der Grundlage der Nanoimprint-Lithographie im industriellen Maßstab bereitzustellen. Neben der Realisierung der Industrieanwendungen ist die NaPANIL Library of Processes (NaPANIL LoP) ein weiteres Hauptergebnis des NaPANIL Projekts, die Prozesstechnologien für die skalierbare und kosteneffektive Herstellung z.B. von polymer-basierten optischen Elementen, organischen LEDs und lab-on-a-chip Systemen dokumentiert.

http://www.napanil.org/uploads/Publications/NaPaLoP_B5.pdf

Ausblick

Obwohl die entwickelte Wertschöpfungskette im NaPANIL auf die Endnutzer-Anwendungen fokussiert war, kann für eine Vielzahl der Material- und Technologieentwicklungen ein breites Anwendungsspektrum auch in Zukunft gefunden werden. Daher geht aus den Projektergebnissen ein enormes Potential weiterer Modifizierungsmöglichkeiten der entwickelten Materialkombinationen hervor.

Die micro resist technology GmbH hat im NaPANIL-Projekt neue Resiste und transparente Arbeitsstempel für die Nanoimprint-Lithographie entwickelt, wodurch neben dem Zugewinn an technologischem Know-How vor allem eine Erweiterung der bestehenden Produktpalette für nanoskalige Produktionstechnologien erlangt werden konnte.

www.napanil.org