Negativ-Photoresiste für die UV-Lithographie

  • geeignet  für Breitband- und i-Linien-Belichtung
  • Verschiedene  Viskositäten  verfügbar für  unterschiedliche Schichtdicken in einem Schleuderbeschichtungsschritt

ma-N 400 und ma-N 1400

sind Lift-off Einschichtresistserien mit einstellbarem Kantenprofil und hoher Temperaturstabilität für Strukturübertragungsprozesse mittels Physical vapour deposition (PVD) und Lift-off und als Ätzmaske.

EpoCore und EpoClad

sind Materialien mit unterschiedlichem Brechungsindex für die Herstellung von polymerbasierten multimode (MM) und single mode (SM) Wellenleitern als Permanentanwendung.

Beispiel Produkt Anwendungen Schichtdicken PDF Details
EpoCore & EpoClad Serien

MM & SM Wellenleiter

2 µm – 120 µm

ma-N 400 Serie & ma-N 1400 Serie

Lift-off Strukturierung

0.5 µm – 10 µm/
0.5 µm – 6 µm