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Save the date for the NIL INDUSTRIAL DAY 2025 in Vienna May 5-6 2025 – See nil-industrialday.org ~ Please join our next mrt Webinar – Meet the expert – in April with Gerda Ekindorf from Heidelberg Instruments “Grayscale exposure challenges using direct-write laser exposure on thick positive resist”
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mr-XNIL26SF
Element 23weqwf
Merkmale
hoher Anteil an fluorierten Komponenten erleichtert die Stempeltrennung und vermindert die Defektrate
100 % organisch, Rückstandsfrei entfernbar mit Sauerstoffplasma
Kann mit PGMEA oder ma-T 1050 auf 100nm-Schichtdicke verdünnt werden
Niedriger Brechungsindex des gehärteten Materials (RI = 1,40)
Anwendungen
NIL bei der sehr niedrige Entformkräfte wichtig sind, beispielsweise Imprints auf einem Mehrschichtsystem
Photo-vernetzbarer NIL Resist, lösungsmittelfrei
Photo-vernetzbarer NIL Resist mit einem hohen Anteil an fluorierten Komponenten
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