ma-T 1050 – micro resist technology

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ma-T 1050

Anwendung

Verdünner zur kundenspezifischen Schichtdickeneinstellung der ma-P 1200, ma-P 1200 G und ma-P 1200LIL Serien, sowie der Hybridpolymere

Charakterisierung:

- lösemittelbasierter Verdünner

- kundenspezifische Schichtdickeneinstellung der ma-P 1200, ma-P 1200 G und mr-P 1200LIL Serien durch Verdünnung mit ma-T 1050

- Einstellen der Schichtdicke der Hybridpolymeren auf < 0.5 µm Dicke (produktabhängig) mittels Verdünnung mit ma-T 1050

Passende Resiste:

ma-P 1200 Serie/ ma-P 1275HV, ma-P 1200G Serie, ma-P 1200LIL Serie, OrmoClear®FX, OrmoClear® Serie, OrmoComp®, OrmoCore & OrmoClad, OrmoStamp®, OrmoStamp®FF, mr-I 7000R Serie, mr-I 8000R Serie, SIPOL Serie, mr-XNIL26SF

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